Mitutoyo日本三丰显微镜FS70

Mitutoyo日本三丰显微镜FS70
显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
三丰公司秉承持续创新向客户提供新技术体验的理念。
因此保留对产品的技术规格进行变的权利。规格如有变，恕不另行通知。
FS-70 系列
378 系列 — 半导体检测用显微镜单元
• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金
属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于器械的
OEM (原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红
外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶
片进行检测和修补的设备。
* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做
标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色
滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观
察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征
分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微
分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学
系统上的标准配件。
• 内倾转塔和长工作距离的物镜确保了显
微镜下的高可操作性。


规格
型号FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
货号378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
聚焦调节使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围
图像正像
物镜筒镜西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm
视场数24mm
俯角— 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透过率
固定(目
镜/TV＝
50%/50%)
可调型(目
镜/管径＝
**/0%：
0%/**)
固定(目
镜/TV＝
50%/50%)
可调型(目镜/管径＝**/0%：0%/**)
防护滤光片— 内置激光滤光片
管径镜头1X 1X - 2X 放大1X
适用激光— 1064/532/355nm 532/266nm
相机安装端口C-mount (适用适配器B选件*1) 使用带TV接口的激光C-mount开关
(带绿色滤光片转换开关)
照明系统(选件) 亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)
12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度
物镜 (用于观察) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物镜
(用于激光切割) — M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV M Plan UV
载重 *2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
*1：可选安装。
*2：镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。
灯泡换
标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)
用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)